Preparation of thermally stable and low dielectric constant polyimide nanofoams

سال انتشار: 1391
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 327

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ISPST10_195

تاریخ نمایه سازی: 6 اردیبهشت 1396

چکیده مقاله:

Polyimides have been evaluated as the most attractive materials for applications in microelectronic fabrication due to their excellent properties, such as good processability and highmechanical and electrical properties, as well as superior thermal stability. However, their dielectric constants are notlow enough to meet the specifications of inter-metal dielectric layers.The objective of our study was preparation of polyimide nanofoams with low dielectric constants

نویسندگان

Elham Aram

Iran Polymer and Petrochemical Institute, P.O. Box: 14965/115, Tehran, Iran

Shahram Mehdipour-Ataei

Iran Polymer and Petrochemical Institute, P.O. Box: 14965/115, Tehran, Iran

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :