آنالیز با باریکه یونی: ابزاری مناسب در اندازه گیری های مواد و لایه های نازک
محل انتشار: سومین کنفرانس ملی خلاء
سال انتشار: 1386
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,736
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCV03_028
تاریخ نمایه سازی: 1 شهریور 1387
چکیده مقاله:
آنالیز با باریکه یونی ابزاری توانمند در آنالیز و مشخصه یابی مواد است. برخی از این روشها مانند پیکسی به صورت روزمره از سال 1355 در آزمایشگاه واندوگراف به کار می رود. استفاده از روشهای دیگری مانند میکروپیکسی و چانلینگ و ERD از سال 1378 آغاز شد. در این مقاله پس از مروری کوتاه بر روشهای آنالیز با باریکه یونی که در آزمایشگاه ما به کار می رود به کاربرد این آنالیزها در مشخصه یابی مواد و بخصوص لایه های نازک می پردازیم و با ذکر مثال توانمندی های این روشها را نشان می دهیم.
نویسندگان