طراحی و ساخت حسگر گاز لایه نازک اکسید قلع با کمک امواج فرا صوت

سال انتشار: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,404

فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ICEE14_316

تاریخ نمایه سازی: 25 تیر 1387

چکیده مقاله:

در این مقاله یک روش جدید لایه نشانی برای ساخت حسگرهای گاز لایه نازک اکسید قلع ارائه شده است. برای ساخت لایه های نازک اکسید قلع، از محلول کلرید قلع به عنوان ماده اولیه و از شیشه به عنوان پایه در دمای 400 درجه سانتیگراد استفاده شد. در این روش از امواج فرا صوت برای تبخیر محلول کلرید قلع در دمای اتاق استفاده گردید. پس از رشد لایه مورد نظر، عملیات ترمیم حرارتی به مدت 3 ساعت در دمای 500 درجه سانتیگراد بر روی نمونه ها صورت گرفت. حساسیت این حسگر نسبت به دود کاغذ و با غلظت های ppm 500-400 در دمای اتاق تا 300 درجه سانتیگراد اندازه گیری شد. در این تحقیقات نتیجه گیری شد که نمونه های بدست آمده در این روش، در مقایسه با نمونه های قبلی دارای حساسیت بسیار بیشتری (در حدود 10 الی 15 برابر) نسبت به دود کاغذ می باشد.

نویسندگان

علیرضا صالحی

دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی، دانشکده برق.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • thick film sensors SnO2؟، _ -[1] at ultimate limits: performance ...
  • - Angel Dieguez Barrientos «Structural analysis for the improvement of ...
  • - A. Salehi and M. Gholizade, «Gas- sensing properties of ...
  • - M. Anderson, R. Budwig, A. Cluff, E. Lemmon, and ...
  • - Martin S inn er- Hettenbach, ' _ SnO~ (110) ...
  • نمایش کامل مراجع