بررسی اثر طول تشدیدگرمیکروالکترومکانیکی بر تغییر فرکانس آن با دما
سال انتشار: 1395
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 538
فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
MECHCONF01_162
تاریخ نمایه سازی: 21 شهریور 1395
چکیده مقاله:
درسال های اخیر یکی از کاربردهای مهم ادوات میکروالکترومکانیک استفاده از آنها به عنوان سنسورها و عملگرها بوده است. در این مقاله، دو تشدیدگر میکروالکترومکانیک دوسر ثابت که تنها دارای طول متفاوت می باشند مورد بحث و بررسی قرارگرفته، تا تاثیرابعاد بر روی تغییر فرکانس با دما مورد بررسی قرار گیرد. اگر از تشدید گر میکروالکترومکانیکی به عنوان سنسور دما استفاده شود، هرچه فرکانس آن با دما بیشتر تغییر نماید مطلوب تر می باشد. گستره دمایی مورد استفاده دراین شبیهسازی بین 293 کلوین تا 343 کلوین مورد بررسی قرار گرفته است. تغییرات دامنه تیر که در اثرنیروی الکترواستاتیک میباشد، در دماهایم محیط متفاوت که می تواند ناشی از مدارات جانبی باشد مورد بحث و بررسی قرار گرفته است. تحریک میکروتیرها توسط ولتاژDC و به مقدار 5 ولت می باشد. برای شبیه سازی سه بعدی عملکرد این قطعه از روش المان محدود استفاده گردیده است. تشدیدگر میکروالکترومکانیکی که مورد بحث ما از ماده پلی سیلیکون با مدول یانگ 161 گیگاپاسکال، چگالی 2321 کیلوگرم برمترمکعب و ضریب دمایی 1
کلیدواژه ها:
نویسندگان
علیرضا قهرمانی سالیانه
گروه مهندسی مکانیک، دانشگاه سیستان و بلوچستان
طاهره فنایی شیخ الاسلامی
گروه مهندسی برق و الکترونیک، دانشگاه سیستان و بلوچستان
سعید اسدی
کارشناس ارشد مهندسی برق و الکترونیک
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :