بررسی بهبود اندوکتانس و ضریب کیفیت ساخت سلف مجتمع در لایه های مختلف فلز در یک تکنولوژی مدارهای مجتمع استاندارد با زیر لایه سیلیکون

هدف از این مقاله بررسی ساخت سلف در لایه های مختلف فلزی در تکنولوژی های متداول ساخت مدارهای مجتمع به منظور رسیدن به کیفیت بالاتر می باشد. نتایج شبیه سازی با استفاد ه از شبیه ساز الکترومغناطیسی SONNET در این مقاله نشان داد که هرچه برای ساخت از لایه های فلز بالاتر استفاده شود به دلیل دور شدن سلف از زیر لایه پر تلفات ضریب و کاهش خازن پارازیتی بین سلف و زیر لایه کیفیت سلف بهبود پیدا می کند و فرکانس خود تشدید سلف نیز افزایش می یابد.

کلیدواژه ها:

سلف اسپیرال ، ضریب کیفیت ، فرکانس خود تشدید ، مدارهای مجتمع