مطالعه عددی سنسور میکروالکترومکانیکی آشکارساز صدا

در این پژوهش یک سیستم میکروالکترومکانیکی به منظور تشخیص گرادیان فشار که به عنوان یک آشکارساز صوت به کار می روند، به صورت عددی مورد مطالعه و بررسی قرار می گیرد و نتایج حاصل از مطالعه عددی با روش تحلیلی مقایسه می شوند. آشکارساز صوت مورد بررسی از یک دیافراگم به همراه آرایه ای از شانه های خازنی تشکیل شده است. دیافراگم یک صفحه با سختی مناسب به همراه آرایه ای از شانه های خازنی است که در اثر برخورد فشار صوتی حول محور پشتیبان در مرکز دیافراگ دوران می کند. این حرکت دورانی دیافراگم موجب ایجاد تغییر در ظرفیت خازنی و در نتیجه تغییر خروجی الکتریکی سیستم می شود. در این پژوهش به شبیه سازی عددی این سیستم می پردازیم و همچنین توانستیم با به کارگیری ترکیبی از شانه های خازنی ساده و شاخه ای موجب افزایش ظرفیت خازنی و در نتیجه حساسیت سیستم شویم.

کلیدواژه ها:

میکرو الکترومکانیک ، آشکارساز صدا ، دیافراگم ، الکترواستاتیک ، سنسور ، میکروفن