بررسی اثر همشنوایی در ماسفت SOI

این مقاله به افزاره های سیلیکون روی عایق با بدنه های خیلی نازک پرداخته است. افزاره های سیلیکون روی عایق با بدنه خیلی نازکباعث کاهش اثرات کانال کوتاه و کاهش جریان نشتی و قابلیت خوب اسکیلینگ میشود و از طرف دیگر به دلیل نازک شدن فیلمسیلیکونی، مشکل خازن های پارازیتی و به دنبال آن مشکل همشنوایی افزایش می یابد و از طرف دیگر توزیع حرارت توسط نواحیسورس/درین کمتر میشود. بنابراین درجه حرارت فیلم نازک افزایش یافته و اثرات خود گرمایی به شدت افزایش می یابد و خودگرماییباعث کاهش عملکرد ماسفت سیلیکون روی عایق (نظیر کاهش موبیلیتی و کاهش جریان درایو و ...) می شود.

کلیدواژه ها:

اثر همشنوایی ، ماسفت سیلیکون روی عایق با بدنه خیلی نازک