بررسی رسوبگذاری شیمیایی بخار پلاسمایی PECVD در زمینه آبگریز کردن منسوجات
سال انتشار: 1394
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 803
فایل این مقاله در 9 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
RSTCONF01_209
تاریخ نمایه سازی: 30 آبان 1394
چکیده مقاله:
یک از روشهای لایه نشانی در صنایع مختلف رسوبگذاری شیمیایی بخارPCVD است کهدرآن پیش ماده درفاز بخار با استفاده از انرژی گرما یا نور یا پلاسما بر روی یا نزدیک بستر مورد نظر با هم واکنش شیمیایی داده و رسوبی پایدار ، همگن نازک و یکنواخت تولید میکنند. اخیرا رسوبگذاری شیمیایی بخار پلاسمایی به علت تشکیل رسوب در دمای پایین و اسیب نرساندن به بسترهای حساس به حرارت مثل منسوجات در بین انواع CVD توجه زیادی را به خود جلب کرده است دراین تحقیق رسوبگذاری شیمیایی بخارپلاسمایی PECVD درزمینه ابگریز کردن منسوجات مورد بررسی قرار گرفته است
کلیدواژه ها:
لایه نشانی- رسوبگذاری شیمیایی-فاز بخار-آبگریز
نویسندگان
سیدعلی حسینی مرادی
کارشناس ارشد فیزیک اتمی مولکولی، گروه فیزیک،دانشکده علوم پایه و دانشگاه پدافند هوایی خاتم الانبیا
صمد اقامحمدی
دکتری ، مدیریت، دانشگاه پدافند هوایی خاتم الانبیاء
حامد حسنعلی زاده
کارشناس ، برق، دانشگاه پدافند هوایی خاتم الانبیاء
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :