A novel miniature field emission pressure sensor: Applying CNTs as the cathode and graphene as the sensitive membrane

سال انتشار: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 714

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ICNN05_827

تاریخ نمایه سازی: 30 آبان 1394

چکیده مقاله:

For the first time,we have fabricated a field emission pressure sensorbased on CNTs, while using grapheneas the sensitive membrane. The proposed sensor can serve as a highly sensitive pressure sensor which meosures thepressure value and direction. In this structure, CNTs have been grown inside the micro- hoies, etched in siliconsubstrate, then graphene sheets have been dispersed on the hole array. We have investigated the outputcharacteristics of the fabricated sensor which shows a sensitivity of about 2 μA/KPa.

کلیدواژه ها:

نویسندگان

Mehdi Habibi

Faculty of Electrical & Computer Engineering, University of Tarbiat Modares, Tehran

Sara Darbari

Faculty of Electrical & Computer Engineering, University of Tarbiat Modares, Tehran

Shima Rajabali

Faculty of Electrical & Computer Engineering, University of Tehran, Tehran

Vahid Ahmadi

Faculty of Electrical & Computer Engineering, University of Tarbiat Modares, Tehran