مقایسه رفتار ارتعاشی میکروکانتیلور پایه سیلیکون با پلی سیلیکونی

میکرو کانتیلورها سکوهای فنری یک سردرگیر در ابعاد میکرونی می باشند که از آنها به عنوان حسگرهای مواد شیمیایی مانند ترکیبات فرار، مواد منفجره، گونه های یونی، سموم، آلاینده های غذا و محیط، آفت کش ها و مواد زیستی مانند آشکار سازی پروتئین و گلوکزو... استفاده می شود. مواد مورد استفاده در اغلب حسگرهای مبتنی بر میکرو کانتیلور، ازجنس سیلیکون و پلی سیلیکون است و اصول حسگری در این حسگرها، بر پایه روش انحراف میکروکانتیلور(استاتیک) یا تغییرات فرکانس رزونانس (دینامیک) آن می باشد. به دلیل افزایش حساسیت حسگرهای مبتنی بر میکروکانتیلور، در مدهای رزونانسی بالا دارای اهمیت زیادی است. از آنجا که بررسی رفتار ارتعاشی یک میکروکانتیلور به صورت تجربی کاری بسیار سخت هزینه بر و زمان بر می باشد پس مدلسازی آنها با استفاده از روش المان محدود، می تواند در کاهش هزینه های ناشی از سعی و خطا در مطالعات آزمایشگاهی موثر باشد. لذا در این پژوهش به مطالعه رفتار ارتعاشی میکروکانتیلورهای سیلیکونی و پلی سیلیکونی و مقایسه رفتار ارتعاشی انها پرداخته شده است.

کلیدواژه ها:

میکروکانتیلور ، سیلیکون ، پلی سیلیکون ، رفتار ارتعاشی ، مدلسازی ، المان محدود