سنتزلایه های نازک تیتانیوم آلومینیوم نیتراید بااستفاده ازدستگاه پلاسما فوکوس

دراین مطالعه تشکیل لایه های نازک تیتانیوم الومینیوم نیتراید روی زیرلایه استیل ضدزنگ توسط دستگاه پلاسما فوکوس کم انرژی نوع مدر ارایه میشود لایه های نازک TiAlN درفاصله 5Cm ازبالای آند و باتعداد شات های متفاوت روی استیل ضدزنگ تحت زاویه صفر درجه نسبت به محور اند تشکیل شدند نمونه های لایه نشانی شده بوسیله پراش اشعه ایکس میکروسکوپ الکترونی روبشی و میکروسکوپ نیروی اتمی مورد بررسی قرارگرفتند نتایج پراش اشعه ایکس رشدکریستالهای TiAlN برروی سطح نمونه ها را نشان داد نتایج میکروسکوپ الکترونی روبشی نشان میدهد که افزایش تعداد شاتها منجر به نهشت بیشتر مواد برروی زیرلایه شده و اندازه نانوذرات TiAlN افزایش می یابد باتوجه به تصاویر میکروسکوپ نیروی اتمی باافزایش تعدادشاتها اندازه دانه ها و ضخامت میانگین سطح افزایش می یابد

کلیدواژه ها:

تیتانیوم آلومینیوم نیتراید ، لایه های نازک ، پلاسما فوکوس SEM XRD