تکامل یک دماسنج زیستی میکرو الکترومکانیکی با افزودن اثر میدان الکتریکی لبه ای

در این مقاله یک تیر یک سر گیر دار بیمتال که در معرض تغییرات دمایی و فشار الکترواستاتیکی قرار گرفته شده ، به عنوان یک دماسنج زیستی میکرو الکترومکانیکی توسعه یافته است. از آنجا که مدل های موجود اثرمیدان لبه ای (Fringing Field) را در نظر نگرفته است، از دقت کافی برخوردار نیست. بنابر این در این کار برای داشتن دقت مدل بالاتر این نقیصه برطرف شده است. با وارد کردن اثر میدان در لبه های مدل، مدل بهبود یافته است. نتایج نشان می دهد که وارد کردن اثر میدان لبه ای در دماهای پایینتر از 1 درجه کلوین نقش مهمی در حساسیت آن دارد که مزیت ویژه ای برای کاربردهای زیست فناوری و محیط زیستی محسوب می گردد

کلیدواژه ها:

تیر بی متال ، دماسنج ، میدان لبه ای