طراحی مدل جدید رزوناتور BAW برای استفاده در مدارات اسیلاتور با فناوری MEMS

سال انتشار: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,037

فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

NAEC02_076

تاریخ نمایه سازی: 15 بهمن 1393

چکیده مقاله:

با مطالعه و بررسی بر ساختار سیستم داخلی رزوناتور BAW و همچنین قابلیت های فناوری MEMS بر روی این ساختار از رزوناتور میکرو الکترومکانیکی سیلیکونی به عنوان یک جایگزین مناسب برای کریستال های کوارتز استفاده می کنند. از آنجا که رزوناتور BAW بهترین و پرکاربردترین مدل در میکرو رزوناتورهای MEMS است و به دلیل خاصیت ارتعاشی و ساختار ساده آن مورد توجه طراحان قرار گرفته و همچنین متغیرهای مکانیکی رزوناتور را می توان متناظر با متغیرهای الکتریکی به منظور رفتار یک رزوناتور مکانیکی با پارامترهای استاندارد یک مدار RLC جهت سهولت در محاسبات معادل کردولی با این وجود این مدل از رزوناتور در حین ارتعاش به دلیل عواملی همچون نویز و حرارت ممکن است بعد مدتی دچار آسیب شود که برای رفع این مشکل ا خازن دیبانس استفاده می کنند.

نویسندگان

محسن مظفری

دانشجوی دانشگاه آزاد اسلامی واحد نور

حبیب اله آدرنگ

عضو هیئت علمی دانشگاه آزاد اسلامی واحد نور

سید صالح قریشی

عضو هیئت علمی دانشگاه آزاد اسلامی واحد نور

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • _ _ _ _ _ _ Theory Techn., vol. 47, ...
  • C.Wilson and P. Beck, _ testing of bulk silicon mi ...
  • _ _ _ _ resonators and their simulation with the ...
  • _ Development of MEMS Osillao as Compared with Crystal Oscillators, ...
  • T. Mattila, J. Kiihamaki, T. Lamminmaki, , Jaakkola, P. ...
  • Actuators, Phys. A, vol. 101, no.1-2, pp. 1-9, Sept. 2002 ...
  • _ _ _ of Mi cromechanics and M icroengineering , ...
  • J. R. Vig and Y. Kim, "Noise in mi cro ...
  • J. Nosek, "Drive level dependence of the resonat frequency in ...
  • نمایش کامل مراجع