محاسبه ضریب کیفیت اتلاف تکیه گاه درمد ارتعاشی شناور تشدیدگر مربعی میکرومکانیکی با هشت تیر نگهدارنده

تشدید گرهای میکرومکانیکی قطعات کوچک میکرومکانیکی هستند که در فرکانس های بالا ارتعاش می کنند و در حسگرها، ژیروسکوپ ها، سوئیچ ها و فیلترها به کار می روند. چندین مکانیزم اصلی اتلاف انرژی در تشدید گرها وجوددارد که شامل اتلاف تکیه گاه، اتلاف ترموالاستیک و اتلاف هوا است. در مقاله حاضر تشدیدگر مربعی میکرومکانیکی با هشت تیر نگهدارنده تحت مد ارتعاشی شناور بررسی شده است. ابتدا رابطه ای برای فرکانس طبیعی مد شناور تشدیدگر مربعی میکرومکانیکی باهشت تیر نگهدارنده استخراج شده است. برای بررسی صحت رابطه تحلیلی فرکانس، نتایج به دست آمده از رابطه تحلیلی فرکانس، با فرکانس حاصل از نرم افزار ANSYS مقایسه شده است و نتایج مطابق خوبی را نشان می دهند. سپس رابطه تحلیلی ضریب کیفیت اتلاف تکیه گاه در مد ارتعاشی شناور تشدیدگر مربعی میکرومکانیکی با هشت تیر نگهدارنده استخراج شده است. نتایج مقاله حاضر نشان می دهد ضریب کیفیت با افزایش ضخامت زیر لایه افزایش می یابد.

کلیدواژه ها:

اتلاف تکیه گاه ، تشدید گر مربعی میکرومکانیکی ، ضریب کیفیت ، مد ارتعاشی شناور