ساخت و مشخصه یابی لایه های نازک ZnO به روش اسپری پایرولیزیز

لایه های نازک اکسید روی با استفاده از روش اسپری پایرولیزیز بر روی زیر لایه شیشه ای تهیه شد و خواص ساختاری و اپتیکی آنها با استفاده از اندازه گیری های پراش پرتو ایکس (XRD) و طیف سنجی (UV-Vis) بررسی شد. ضخامت لایه به روش بیضی سنجی اندازه گیری شد. نتایج حاصله بیانگر وجود ساختار ورتسایت با راستای ارجح [ 002 ] می باشد. با تغییر زیر لایه به سیلیکون دیده شد که اندازه بلورک ها کاهش پیدا کرد و در ضمن بررسی ساختاری فیلم ها نشان داد که استرس فشاری نمونه های تهیه شده روی شیشه بیشتر از مورد سیلیکون است.

کلیدواژه ها:

لایه های نازک ، اکسید روی ، اسپری پایرولیزیز