تاثیر نوع اتمهای ناخالصی بر روی مورفولوژی نانوسیمهای سیلیکونی ساخته شده با روش اچینگ شیمیایی به کمک فلز

هدف اصلی ما در این تحقیق توسعه روشهایی برای کنترل شکل، اندازه و توزیع ساختارهای سطحی و چگالی و ایجاد دستورالعمل هایی برای ساختارهای سیلیکونی یک بعدی است. در این زمینه تاثیر اتمهای دوپ شده در ویفرهای سیلیکونی بر فرایند اچینگ شیمیایی به کمک فلز (MACE) و مورفولوژی نانوسیمهای ایجاد شده در دو نوع زیرلایه سیلیکونی نوع n و نوع p مورد بررسی قرار گرفته است.

کلیدواژه ها:

نانوسیمهای سیلیکونی ، دوپینگ ، اچینگ شیمیایی به کمک فلز ، مورفولوژی