مشخصه یابی الکتریکی سامانه پلاسمای سطحی مشبک با دی الکتریک های کوارتز و آلومینا در ولتاژهای مختلف با استفاده از روش اندازه گیری جریان با پیچه روگوفسکی

امروزه به دلیل اهمیت مصرف انرژی در کاربرد سامانه های تولید پلاسما در صنعت، مشخصه یابی پارامترهای الکتریکی آن ها بسیار مهم است. در این مقاله، توان مصرفی سامانه تولید پلاسمای سد دی الکتریک سطحی با ساختار مشبک با استفاده از دو نوع دی الکتریک متفاوت، کوارتز و آلومینا، در ولتاژهای مختلف اندازه گیری و مقایسه شده است. هدف اصلی بررسی تاثیر جنس دی الکتریک بر میزان توان مصرفی سامانه پلاسمای سطحی مشبک در شرایط مختلف اعمال ولتاژ است. برای اندازه گیری جریان تخلیه و محاسبه توان مصرفی، روش اندازه گیری جریان با استفاده از پیچه روگوفسکی به کار گرفته شده است که امکان ثبت دقیق جریان های سریع و گذرای موجود در فرآیند تخلیه پلاسما را فراهم می سازد. نتایج نشان می دهد که نوع دی الکتریک تاثیر قابل توجهی بر توان مصرفی سامانه دارد؛ به طوری که آلومینا در مقایسه با کوارتز، به دلیل ویژگی های الکتریکی و حرارتی خاص خود، منجر به کاهش توان مصرفی می شود. نتایج حاصل از این مقاله می تواند در انتخاب بهینه مواد دی الکتریک برای طراحی سامانه های پلاسما با کارایی بالا در کاربردهای مختلف صنعتی، پزشکی و زیست محیطی مفید واقع شود.

کلیدواژه ها:

تخلیه سد دی الکتریک سطحی ، مشخصه یابی الکتریکی ، کوارتز ، آلومینا ، پیچه روگوفسکی