بهینه سازی یک آشکارساز جدید مادون قرمز میکروبالومتر دمای اتاق مبنی بر MEMS
محل انتشار: اولین همایش ملی مهندسی برق ایران
سال انتشار: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 900
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
INCEE01_084
تاریخ نمایه سازی: 25 تیر 1393
چکیده مقاله:
این مقاله یک ساختار میکروبالومتر جدید با لایه n-well (چاه سیلیکین با ناخالصی نوع n) به عنوان عنصر فعال و لایه فلز به عنوان لایه رابط روی بازوهای پشتیبان ارائه می دهد. با توجه به عملکرد میکروبالومتر در اثر شار حرارتی وارده به میکروبالومتر تغییرات دمایی در آن ایجاد می گردد که این تغییرات دمایی با تغییر مقاومت همراه است که هرچه این تغییرات بیشتر باشد عملکرد میکروبالومتر بهتر می شود. برای میکروبالومترها ماده های مختلف زیادی استفاده شده است که با انتخاب ماده ای مناسب برای لایه فعال و لایه رابط روی بازوی پشتیبان می توان عملکرد میکروبالومتر را بهبود داد. شبیه سازی حرارتی به طور دقیق در نرم افزار ANSYS برای به دست آوردن ساختار بهینه انجام شده است. و محاسبات انجام شده باعث به دست آوردمن ماکزیمم آشکاذریر ویژه 5/1334×109 cmHz1/2/W و پاسخ دهی 32721 V/W شده است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
نسیمه مرادی
دانشجوی کارشناسی ارشد ، دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات اراک، ایران
احمد عفیفی
استادیار، دانشگاه مالک اشتر، مجتمع دانشگاهی برق و الکترونیک، گروه مهندسی برق و الکترونیک، تهران، ایران
سیدمحمدمهدی نجفی زاده
دانشیار، دانشگاه آزاد اسلامی واحد اراک، مجتمع دانشگاهی مکانیک، گروه مهندسی مکانیک، اراک، ایران
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :