بهینه سازی فرکانس تشدید در شتاب سنجی خازنی MEMS
محل انتشار: اولین همایش ملی مهندسی برق ایران
سال انتشار: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 681
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
INCEE01_069
تاریخ نمایه سازی: 25 تیر 1393
چکیده مقاله:
یک شتاب سنج MEMS متشکل از یک عنصر سنجش و یک مدار قرائت الکترونیکی می باشد. در این طراحی از عناصر خمشی دوسر گیردار و جرم معیار بدون سوراخ کاری استفاده شده است. محدوده این شتاب سنج 10g± است . با تحلیل مدل های مختلف و بررسی پارامترهای مختلف فرکانس تشدید شتاب سنج، حالت بهینه فرکانس تشدید به میزان 1/6KHz به دست آمده است که طرح موجود مدل جدیدی از شتاب سنج ارائه می دهد. با استفاده از نتایج تحلیل این شتاب سنج مقادیر حساسیت، نویز براونین معادل شتاب، نویز مداری معادل شتاب و نویز کلی معادل شتاب به ترتیب 1-pFg 0/356 و 1/2 mgHz 0/65 و 1/2 mgHz 0/56 و 1/2 mgHz 0/86 به دست آمده است که مقادیر بسیار خوب و بهینه ای هستند. در این مقاله، مدل سازی با نرم افزار Solid Works صورت گرفته و برای تحلیل نتایج از نرم افزار ANSYS استفاده شده است. برای تعیین مقادیر خروجی نیز از نرم افزار MATLAB استفاده شده است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
نازنین ساده
دانشجوی کارشناسی ارشد، دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات، اراک، ایران
احمد عفیفی
استادیار، دانشگاه مالک اشتر، مجتمع دانشگاهی برق و الکترونیک، گروه مهندسی برق و الکترونیک، تهران، ایران
سیدمحمدمهدی نجفی زاده
دانشیار، دانشگاه آزاد اسلامی واحد اراک، مجتمع دانشگاهی مکانیک، گروه مهندسی مکانیک، اراک، ایران
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :