افزایش طول عمر میکروسوئیچ ها با بهره گیری از نانولوله های کربنی معلق در آرایش چندتایی و فناوری لیتوگرافی

میکروسوییچ های مبتنی بر نانولوله های کربنی (CNT) به دلیل ویژگی های الکتریکی و مکانیکی منحصر به فرد گزینه ای امیدوار کننده برای کاربرد در مدارهای مجتمع نسل آینده هستند. این مقاله به طراحی، روش ساخت و ارزیابی یک میکروسوییچ با ساختار پیشرفته می پردازد که در آن از نانولوله های کربنی معلق و آرایش چندتایی برای بهبود پایداری مکانیکی و افزایش طول عمر و عملکرد الکتریکی مناسب تر استفاده شده است. نتایج آزمایشگاهی توسط نرم افزار silvacor شبیه سازی شده اند که نشان دهنده کاهش مقاومت تماسی به کمتر از ۱۰ و چرخه کاری بیش از ۱۰۵ بار است. در نهایت چالش های فرآیند ساخت و راهکارهای احتمالی مورد بحث قرار گرفته اند.

کلیدواژه ها:

نانولوله کربنی ، میکروسوییچ ، ساختار معلق ، آرایش چندتایی ، نانوالکترومکانیک