مطالعات طیف سنجی در تاثیر پلاسما بر نانوساختارهای دوبعدی سولفیدتنگستن

در این پژوهش، نانوساختارهای دوبعدی سولفید تنگستن به روش رسوب دهی بخار شیمیایی گرمایی در دمای ۱۱۰۰ سانتیگراد با استفاده از گاز حامل آرگون بر روی زیرلایه های سیلیکونی در کوره سه ناحیه ای رشد داده شدند و پس از آن تحت تاثیر پلاسمای گاز آرگون به مدت زمان ۱۰ دقیقه قرار گرفت. هدف از این پژوهش بررسی و مطالعه تاثیر پلاسما بر نانو ساختار های دو بعدی سوبفید تنگستن می باشد و نتایج حاصل از مشخصه یابی پراش اشعه ایکس، طیف سنجی فرابنفش-مرئی و طیف سنجی رامان حاکی از تعداد لایه های نانوساختارهای دوبعدی سولفید تنگستن در اثر پلاسما بود.

کلیدواژه ها:

WS۲ nanostructures ، Thermal chemical vapor deposition ، Argon plasma ، نانوساختارهای سولفید تنگستن ، رسوب دهی بخار شیمیایی گرمایی ، پلاسمای گاز آرگون