تهیه لایه نازک ترکییبات تیتانیوم بعنوان محافظ ابزار صنعتی و اندازه گیری سختی وکاهش خوردکی آنها

لایه های ترکیبات تیتانیوم با سختی و نقطه ذوب بالا و مقاو م در برابر مواد خورنده بر روی ادوات صنعتی و ابزار فولادی پر سرعت با کاربرد وسیع را بصورت تک یا TiN و TiC –N , TiC مورد توجه صنعت و تحقیقات است و به لایه های محافظ موسوم اند. در این کار تحقیقاتی ترکیباتی از فلزات انتقالی دو لایه به قطر 3-4 میکرون بر روی ق طعات فولادی با روش PVD و CVD رسوب داده ایم . فشارهای کار برای رسوب این لایه ها حدود 3 × 10 به توان 6 - و 4× 10 به توان 4- پاسکال دردمای 300-500 درجه سانتیگراد در حضور گاز از ت و متان انتخاب شده است. در نتیجه سختی اندازه گیری شده در یک سری لایه ها حدود 620- 460 و در سری دیگر 500-300 ویکرز تعیین شد . برای تایید سختی میزان ساییدگی و فرسایش لا یه های TiC و TiC,N و TiN 400 و دو لایه TiC- TiN رسوب داده شده بر زیر لایه فولادی با یک قطعه فولاد پر سرعت بررسی و مقایسه گردید.