ساخت Cantilever میکروسکوپ نیروی اتمی Fabrication of AFM cantilever's
محل انتشار: کنفرانس ملی مهندسی مکانیک ایران
سال انتشار: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 656
فایل این مقاله در 9 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCMII01_493
تاریخ نمایه سازی: 22 اردیبهشت 1393
چکیده مقاله:
در این مقاله ، تکنولوژی ساخت Cantileverمیکروسکوپ نیروی اتمی به روش Self-Sharpening nano Silicon وپیزوالکتریک پایه ALN مورد بررسی قرار گرفته است . tip های نانو سیلیکون ، بوسیله تکنولوژی اچ تر ناهمسانگرد و مکانیزم خود تیز شو(Self Sharpening) با استفاده از ماسکهای مخصوص 3 و 5 وجهی تولید می گردند[1]
کلیدواژه ها:
نویسندگان
r hadi
Islamic Azad University Najafabad
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :