ساخت سوِراخهای نانو ساختار دو سر باز به کمک نانولوله های کربنی بر روی غشای نازک شده بر روی زیر لایه سیلیسیوم (100)

سال انتشار: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,181

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

IPC85_138

تاریخ نمایه سازی: 13 بهمن 1385

چکیده مقاله:

نانولوله های عمودی بر روی غشای کوارتز به روش DC-PECVD رشد داده شده اند . برای ساخت این غشاء ، ویفر سیلیسیوم با جهت بلوری (100) به صورت نا همسانگرد در محلول 8 مولار KOH زدایش شده است . مخلوطی از گازهای هیدروژن و استیلن برای رشد نانولوله های کربنی استفاده شده و لایه ای از نیکل به عنوان کاتالیست بکار رفته است . نانولوله های حاصل با لایه نشانی اکسید تیتانیوم به روش تبخیر شیمیایی و در فشار اتمسفر، پوشانده شده اند . بعد ازمرحله صیقل دادن و سوزاندن نمونه و پس از برداشتن غشاء ، نانو ساختارهایی با دو سر باز، به دست آمده است . تحلیل SEM برای مطالعة این ساختارهای نانومتری مورد استفاده قرار رفته است .

نویسندگان

یاسر عبدی

دانشکده فیزیک ، پردیس علوم ، دانشگاه تهران ، آزمایشگاه لایه نازک، دان

شمس الدین مهاجرزاده

آزمایشگاه لایه نازک، دانشکدهمهندسی برق و کامپیوتر ، پردیس فنی ، دانش

عزت اله ارضی

دانشکده فیزیک ، پردیس علوم ، دانشگاه تهران