توسعه یک میکروسکوپ میکرو فوتولومینسانس برای شناسایی میکروال ای دی های معیوب در فرآیند ساخت

میکروسکوپ میکرو فوتولومینسانس جدیدی با استفاده از لیزرهای تحریک موج پیوسته ۴۰۵ نانومتر برای بررسی میکرو ال ای دی های آبی که در طول موج ۴۵۰ نانومتر نور فوتولومینسانس تولید می کنند، توسعه یافته است. این سیستم قادر است چاه های کوانتومی معیوب میکرو ال ای دی را که به دلیل ناتوانی در تولید نور زیر میکروسکوپ تاریک دیده می شوند، شناسایی کند. در این پژوهش نشان داده شده که میکروسکوپ میکرو فوتولومینسانس می تواند نقص ها را مستقیما روی ویفر و در حین فرآیند ساخت، پیش از تست الکتریکی، تشخیص دهد. شناسایی زودهنگام چنین ایراداتی از ادامه تولید ال ای دی های معیوب جلوگیری کرده و به کاهش هزینه ها و افزایش بهره وری کمک می کند. همچنین، این سیستم قادر است برخی عیوب پنهان را که با میکروسکوپ های معمولی قابل مشاهده نیستند، آشکار کند. این روش پیشرفته امکان ارزیابی و مقایسه کیفیت میکرو ال ای دی ها را در بین ویفرها و حتی درون یک تصویر فراهم می آورد و به عنوان روشی غیرتماسی و دقیق برای کنترل کیفیت در خط تولید میکرو ال ای دی ها شناخته می شود.

کلیدواژه ها:

میکروفوتولومینسنس ، میکروال ای دی آبی ، تشخیص زودهنگام ال ای دی معیوب