بررسی پارامتر زبری بر رشد نانوساختارهای نیکل با استفاده از شبیه سازی مونت کارلو

در این مقاله از روش شبیه سازی سه بعدی مونت کارلو برای رشد نانوساختارهای نیکل استفاده شده است. مرحله جوانه زنی و رشد حجم لایه شبیه سازی شده است. برای اعمال اثر دما از الگوریتم متروپولیس استفاده شده است. در مرحله جوانه زنی، افزایش دمای زیرلایه باعث کاهش تعداد جزایر و افزایش اندازه جزایر می شود. مدل رشد حجمی بالستیک فرض شده و تاثیر تغییر اندازه زیرلایه بر زبری پس از پایان مرحله رشد حجمی بررسی شده است. مدل ناحیه ساختاری شبیه سازی شده و تغییرات زاویه ستون رشد یافته نسبت به زاویه برخورد ذرات بررسی شده است. نتایج ما نشان داد که تغییر زبری تابعی از زاویه برخورد ذرات است. همچنین افزایش زاویه برخورد ذرات، زبری را افزایش می دهد و با افزایش اندازه زیرلایه، منحنی زبری شیب تندی پیدا می کند. با افزایش زاویه برخورد، طول سایه و فضای خالی بزرگتر شده و زبری سطح نیز افزایش می یابد.