بررسی اثر استوکیومتری بر خواص ساختاری و الکترواپتیکی لایه های نازک اکسید وانادیوم در لایه نشانی به روش کندوپاش مغناطیسی پالس توان بالا (HiPIMS)
محل انتشار: مجله پژوهش فیزیک ایران، دوره: 25، شماره: 2
سال انتشار: 1404
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 151
فایل این مقاله در 10 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_PSI-25-2_008
تاریخ نمایه سازی: 3 آبان 1404
چکیده مقاله:
در این تحقیق لایه های نازک اکسید وانادیوم به روش کندوپاش مغناطیسی پالس توان بالا (HiPIMS) در نسبت های مختلف گاز واکنشی اکسیژن به آرگون با درصدهای ۱، ۲.۵، ۵، ۱۰، ۱۵، ۲۰، ۲۵ و ۳۰ در پالس ۴۵ میکروثانیه و در فشار اولیه محفظه لایه نشانی ۷-۱۰×۲ تور و فشار کاری ۵ میلی تور بر روی زیرلایه های شیشه ای لایه نشانی شده و به صورت ساختاری و الکترواپتیکی مطالعه شده اند. ترکیب شیمیایی این اکسیدهای فلزی با تحلیگر طیف سنجی فوتوالکترون پرتو ایکس (XPS) تعیین شده و به صوررت VOx با مقادیر مختلف x مشخص شده است. با بررسی خواص الکترواپتیکی، میزان شفافیت، عبور اپتیکی لایه ها و همچنین خواص الکتروکرومیکی آنها از طریق تحلیگر ولتامتری چرخه ای تعیین شد. نتایج نشان داد که کمبود اکسیژن در پالس های طولانی تر موجب کاهش متوسط عبور اپتیکی و کاهش گاف نوار اپتیکی لایه ها می شود.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
حامد نجفی آشتیانی
دانشکده علوم پایه، دانشگاه ولایت، ایرانشهر
عادله وطن خواهان
دانشکده علوم پایه، دانشگاه ولایت، ایرانشهر
ملیحه آزادپرور
دانشکده علوم پایه، دانشگاه ولایت، ایرانشهر
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
