ناشر تخصصی کنفرانس های ایران

لطفا کمی صبر نمایید

Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
CIVILICAWe Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

بررسی و تحلیل عملکرد میکروفون خازنی با استفاده از تکنولوژی MEMS

سال انتشار: 1392
کد COI مقاله: NCNIEE02_254
زبان مقاله: فارسیمشاهد این مقاله: 2,136
فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای 7 صفحه است به صورت فایل PDF در اختیار داشته باشید.
آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله بررسی و تحلیل عملکرد میکروفون خازنی با استفاده از تکنولوژی MEMS

جواد احمدنژاد - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل،
بهرام عزیزالله گنجی - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل،
آرش نعمتی - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل،

چکیده مقاله:

در این مقاله به یک ساختار میکروفون خازنی اشاره شده که در طراحی آن از تکنولوژی - mems استفاده شده است.میکروفون های با ساختار خازنی در حالت کلی از دو صفحه تشکیل می گردند، که به صفحه بالایی تشکیل دهنده آن، دیافراگم(Diaphragm) گفته می شود که در معرض برخورد امواج صوتی قرار دارد و صفحه دیگر که در قسمت پایینی قرار دارد و ثابت می باشد. این دو صفحه بوسیله یک فاصله هوایی (air gap) از هم جدا می گردند. ابعاد میکروفون ارائه شده ) mm2 5.0 5.0 ( می باشد و ضخامت

کلیدواژه ها:

میکروفون MEMS ، دیافراگم، ولتاژ Pull-in ، فاصله هوایی (air gap

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:

https://civilica.com/doc/233749/

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
احمدنژاد، جواد و عزیزالله گنجی، بهرام و نعمتی، آرش،1392،بررسی و تحلیل عملکرد میکروفون خازنی با استفاده از تکنولوژی MEMS،دومین کنفرانس ملی ایده های نو در مهندسی برق،اصفهان،،،https://civilica.com/doc/233749

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1392، احمدنژاد، جواد؛ بهرام عزیزالله گنجی و آرش نعمتی)
برای بار دوم به بعد: (1392، احمدنژاد؛ عزیزالله گنجی و نعمتی)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود ممقالهقاله لینک شده اند :

  • J. Chen, L. Liu, Z. Li, Z. Tan, Y. Xu ...
  • J. Miao, R. Lin, L. Chen, Q. Zou, S. Y. ...
  • Microelectron ics Journal, _ 33, No.3, pp. 21-28, 2002. ...
  • X. Li, R. Lin, H. Kek, J. Miao and Q. ...
  • microphone with a novel single deeply corrugated diaphragm" Sensors and ...
  • C.T. Yang, "The Sensitivity Analysis of a MEMS Microphone with ...
  • C. Gibbons and R. N. Miles, "Design of A Biomimetic ...
  • B. A. Ganji and B. Y. Majlis, "Design and capacitive ...
  • diaphragm" Sensors and Actuators, Vol. 149, No.5 _ pp. 29-37, ...
  • _ A. Ganji and B. Y. Majlis, "Slotted Capacitive Microphone ...
  • S. Chowdhur, M. Ahmadi, and W.C. Miller, Capacitive the ...
  • International Conference _ MEMS , NANO and Smart Systems (ICMENS), ...
  • P. Horwath, A. Erlebach, R. Kohler and H. Kuck, "Miniature ...
  • B. A. Ganji and B. Y. Majlis , " The ...
  • P. R. Scheeper, W. Olthuis and P Bergveld, "A silicon ...
  • H. Siliang, _ Yan , Z. Jian'en, W. Donghui and ...
  • B.A.Ganji and B.Y. Majlis, "Deposition and Etching of Diaphragm and ...
  • مدیریت اطلاعات پژوهشی

    صدور گواهی نمایه سازی | گزارش اشکال مقاله | من نویسنده این مقاله هستم

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز: دانشگاه دولتی
    تعداد مقالات: 5,841
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    مقالات پیشنهادی مرتبط

    مقالات مرتبط جدید

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.

    پشتیبانی