میکروسکوپ الکترونی روبشی:اجزا،عملکرد و کالیبراسیون

در میان تجهیزات تشخیص نمونه یکی از این تجهیزات میکروسکوپ الکترونی روبشی است.میکروسکوپ الکترونی روبشی قابلیت عکس برداری از سطوح با بزرگنمایی ۱۰تا۵۰۰۰۰۰برابر با قدرت تفکیکی کمتر از ۱ تا۲۰ نانومتر(بسته به نمونه) را دارد و از مناسب ترین وسایل در دسترس برای آزمایش و آنالیز مورفولوژی نانو ساختار ها و شناسایی ترکیبات شیمیایی است.میکروسکوپ الکترونی روبشی شامل اجزای زیر است:تفنگ الکترونی،لنزها،روزنه ها،سیستم روبش،محفظه نمونه،سیستم خلا و سیستم نمایش. مهمترین کاربرد میکروسکوپ الکترونی روبشی به شرح زیر است:سنجش اندازه ذره ها در نمونه،بررسی میزان خوردگی سطح ،بررسی آنالیز عنصری (همراه با دستگاه طیف سنجی پراش انرژی پرتو ایکس)،بررسی ریخت شناسی بخش های سازنده و تخلخل ها،براورد سطح شکست و ارزیابی علت شروع شکست،سنجش حضور فازهای مختلف در ساختار و بررسی سطح مقطع. این مقاله به مروری بر اجزا و عملکرد میکروسکوپ الکترونی روبشی می پردازد.واژگان کلیدی:میکروسکوپ الکترونی روبشی،طیف سنجی پراش انرژی پرتو ایکس ،تفنگ الکترونی،آنالیز مورفولوژی نانو ساختارها.

کلیدواژه ها:

میکروسکوپ ، کالیبراسیون ، تفنگ الکترونیکی