کاشت یون دی اکسیدکربن بر روی تیتانیوم نیتراید ( TiN)
محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران 1386
سال انتشار: 1386
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 2,187
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IPC86_281
تاریخ نمایه سازی: 20 دی 1385
چکیده مقاله:
نمونه تیتانیوم را با دوزهای [مقادیر در متن مقاله] یون بر سانتی متر مربع ، بوسیله نیتروژن با انرژی ٣٠ kev کاشت می کنیم و سپس آنها را توسط یون CO2 با همان انرژی و با دوزهای [مقادیر در متن مقاله] یون بر سانتی متر مربع مورد کاشت قرار می دهیم . برای بررسی توپوگرافی و زبری در نمونه ها بوسیله میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) از آنها تصویر گرفته شد . همچنین ساختار نمونه و فازهای تشکیل شده توسط پراش پرتو (XRD) x بررسی گردید . همچنین سختی نمونه بوسیله سختی سنجی ویکرز (VHN) اندازه گیری شد . نتایج نشان می دهد که با افزایش دوز نیتروژن میزان تراکم اتم ها در نمونه بیشتر ، سطح زبرتر، اندازه دانه ها بزرگتر می شود و میزان سختی نیز تا حدی افزایش و سپس کاهش می یابد . بعد از کاشت CO2 افزایش دوز سبب شده که میزان زبری سطح افزوده، اندازه دانه ها درشت تر و میزان سختی زیاد می گردد ، که این افزایش سختی احتمالاً به دلیل فاز های تشکیل شده خواهد بود .
نویسندگان
شهرام ترابی
دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج، گروه فیزیک
امیرحسین ساری
مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما،واحد علوم و تحقیقات دانشگاه آزاد اسلامی،
علیرضا هژبری
دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج، گروه فیزیک
محود قرآن نویس
مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما،واحد علوم و تحقیقات دانشگاه آزاد اسلامی،