بررسی تاثیرات میدان مغناطیسی بر روی لایه های نازک مس انباشته شده توسط پراکنش میدان مغناطیسی DC

سال انتشار: 1386
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,712

متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

IPC86_267

تاریخ نمایه سازی: 20 دی 1385

چکیده مقاله:

در این مقاله تغییرات میدان مغناطیسی خارجی اعمال شده به دستگاه DC مگنترون، برای انباشت لایه های نازک مس روی شیشه مورد بررسی قرار گرفته است . با استفاده از میکروسکوپ پروپ روبشی 1 اندازه دانه ها، توپوگرافی وزمختی لایه ها بررسی شدند . ساختار لایه های نازک تهیه شده و اندازه بلورک ها با روش پراش پرتوهای ایکس 2 تعیین شد . همچنین ضخامت لایه های انباشت شده با کمک روش پس پراکندگی رادرفورد 3 مورد بررسی قرار گرفت . با استفاده از نتایج حاصل از این آنالیزها ، اندازه بلورک ها و ضخامت لایه ها تعیین شد . آزمایش های انجام شده بیانگر کاهش زمختی و افزایش ضخامت لایه ها همراه با افزایش میدان مغناطیسی وآهنگ انباشت بوده است . همچنین با گرم کردن زیرلایه ها با روش بازپخت، در جهت های ترجیحی (111) و (200) رشد مشاهده کردیم بعلاوه افزایش اندازه دانه ها و میزان زمختی سطح لایه ها همراه با کاهش ضخامت بعد از بازپخت بوده اند

نویسندگان

اشرف السادات میرکمالی

گروه فیزیک ، دانشگاه آزاد اسلامی واحد بهشهر،بهشهر، ایران

محمود صابونی

گروه فیزیک ، دانشگاه آزاد اسلامی واحد شاهرود، شاهرود، ایران

امیرمسعود صادقی

دانشکده فیزیک دانشگاه صنعتی شاهرود ، بلوار دانشگاه ، شاهرود ، ایران

رزیتسا یاکی موا

انستیتوی فیزیک و تکنولوژی سنجش دانشگاه لینشوپینگ ، لینشوپینگ ، سو

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • W.Reuter and J. E. Baglin, J.Vac. Sci. Technol. 18, 282 ...
  • Ramesh Chandra, Amit Kumar Chawla, Davinder Kaur and Ayyab, Nano ...
  • H. Savaloni _ M. A. Player, E. Gu and G. ...
  • L. V. Azaroff , " Elements of X-Ray Crystallog raphy", ...
  • H. Savaloni; "Surface In Na notechnology" _ edition, University of ...
  • M. Ghoranneviss, K. Yasserian, H. R. Pourbalasi, XXVIIth ICPIG, Eindhoren ...
  • نمایش کامل مراجع