بررسی رفتار استاتیکی، فرکانس و ظرفیت خازنی میکروسوئیچ های سه صفحه ای با استفاده از تئوری تنش کوپل بهبودیافته

با توجه به اهمیت اثرات پارامتر طول مشخصه در بررسی پایداری میکروسوئیچ ها، در این مقاله به بحث و بررسی پایداری میکروسوئیچ با در نظر گرفتن این اثر و با استفاده از تئوری تنش کوپل بهبودیافته پرداخته می شود. میکروسوئیچ موردمطالعه در این مقاله میکروسوئیچ سه صفحه ای است که در آن میکروتیر بین دو الکترود ثابت معلق می باشد. اخیرا چنین میکروسوئیچ هایی نظر برخی از محققین را به خود جلب کرده و تحقیقاتی در مورد تحلیل رفتار استاتیکی و دینامیکی این سوئیچ ها صورت گرفته است. برای این منظور معادله حاکم بر رفتار دینامیکی و استاتیکی میکروسوئیچ با استفاده از تئوری تنش کوپل و تئوری تیر کلاسیک ارائه می شود. برای حل معادله حاکم که یک معادله غیرخطی می باشد؛ از روش گام به گام خطی سازی استفاده می شود. نتایج حاکم بر رفتار استاتیکی میکروسوئیچ و تعیین ولتاژ ناپایداری در شرایط مختلف نسبت ولتاژی با استفاده از هر دو تئوری تنش کوپل و تئوری تیر کلاسیک تعیین و با هم مقایسه می شود. علاوه بر مورد فوق؛ چگونگی تغییرات فرکانس و ظرفیت خازنی میکروسوئیچ نسبت به تغییر ولتاژ اعمالی با استفاده از تئوری تنش کوپل و تئوری تیر کلاسیک ارائه و با هم مقایسه می شوند.

کلیدواژه ها:

میکروسوئیچ ، تئوری تنش کوپل بهبودیافته ، ناپایداری ، میکرو تیر