تاثیرشرایط انباشت برخواص اپتیکی و ساختاری فیلمهای نازک اکسید آلومینیوم تهیه شده به روش سل ژل

در این تحقیق تاثیر شرایط انباشت بر خواص اپتیکی و ساختاری فیلمهای نازک سل - ژل ساخته شده اکسید آلومینیوم مورد بررسی قرار گرفته است . طیف تراگسیل لایهها به وسیله طیفسنج UV-Visible اندازه گیری شد با استفاده از طیـف تراگـسیل تجربـی و بـه کمـک روش بهینـه سـازی نامقیـد ، ضـخامت لایـه ، ضـریب شکست ) ) n و ضریب جذب ) )α به ازای هر طول موج تعیین شد . د ر نهایت با استفاده از معادلات برازشی، ضریب شکست و ضریب جذب بهینـه شـده در گـستره طول موجهای ناحیه مرئی محاسبه شد . تاثیر عملیات گرمایشی و سرعت غوطه وری بر روی ثوابت اپتیکی ) ) n,α,d لایهها مورد بررسی قرار گرفـت . نتـایج بدسـت آمده نشان می دهند افزایش سرعت غوطه وری باعث افزایش ضخامت، ضریب شکست و ضریب جذب فیلم های اکسید آالومینیوم می شـود . همچنـین افـزایش دمـای بازپخت، باعث کاهش ضخامت و افزایش ضریب شکس ـت و ضریب جذب لایه ها می گردد و گاف نواری انرژی تغییر می کند . ساختار پودری اکـسید آلومینیـوم بـا استفاده از پراش پرتو X و مشخصه مورفولوژیک فیلم بوسیله میکروسکوپ نیروی اتمی AFM مورد مطالعه و بررسی قرار گرفت