بررسی آسیب بلوری ایجاد شده در بلور سیلیسیم بعد از کاشت یون های ژرمانیوم

در این مقاله آسیب ایجاد شده بر اثر کاشت ناخالصی ژرمانیوم با دو دز و انرژی متفاوت را در تک بلور سیلیسیم بررسی می نماییم . پروفایل اتم های سیلیسیم جابجا شده از مکان شبکه ای خود بر حسب عمق بعد از کاشت یون به دست می آید . نتایج به دست آمده با محاسبات نرم افزار TRIM و پیشگویی مدل اصلاح شدهKinchin-Pease مقایسه می گردد . همچنین در این مقاله سعی شده است تا اثر دز و انرژی یون های کاشت شده در ایجاد آسیب بلوری بررسی گردد . اثر بازپخت حرارتی بر ترمیم بلوری شبکه سیلیسیم نیز مطالعه می گردد