ناشر تخصصی کنفرانس های ایران

لطفا کمی صبر نمایید

Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
CIVILICAWe Respect the Science
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
عنوان
مقاله

بررسی اثر کاشت ناخالصی آرسنیک بر روی نیمه هادی سیلیسیم بعد ازاکسیداسیون گرمایی

تعداد صفحات: 4 | تعداد نمایش خلاصه: 996 | نظرات: 0
سال انتشار: 1386
کد COI مقاله: IPC86_078
زبان مقاله: فارسی
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

راهنمای دانلود فایل کامل این مقاله

متن کامل این مقاله منتشر نشده و در پایگاه سیویلیکا موجود نمی باشد.

منبع مقالات سیویلیکا دبیرخانه کنفرانس ها و مجلات می باشد. برخی دبیرخانه ها اقدام به انتشار اصل مقاله نمی نمایند.به منظور تکمیل بانک مقالات موجود چکیده این مقالات در سایت درج می شوند ولی به دلیل عدم انتشار اصل مقاله امکان ارائه آن وجود ندارد.

خرید و دانلود فایل مقاله

متن کامل (فول تکست) این مقاله منتشر نشده و یا در سایت موجود نیست و امکان خرید آن فراهم نمی باشد.

مشخصات نویسندگان مقاله بررسی اثر کاشت ناخالصی آرسنیک بر روی نیمه هادی سیلیسیم بعد ازاکسیداسیون گرمایی

برهان ارغوانی نیا - گروه فیزیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرمانشاه
داوود آقاعلی گل - پژوهشگاه علوم و تکنولوژی هسته ای، آزمایشگاه واندوگراف
علی باقرزاده - پژوهشگاه علوم و تکنولوژی هسته ای، آزمایشگاه واندوگراف
داریوش فتحی - گروه فیزیک دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی

چکیده مقاله:

در این مقاله با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM ) ، تأثیر ناخالصی آرسنیک (As) با دز های مختلف که با روش کشت یونی در ویفرهای سیلیسیم تک بلور (100) ، کاشته شده است، بعد از اکسیداسیون گرمایی سیلیسیم در تغییرات مورفولوژی سطح فصل مشترک اکسید - نیمه رسانا مطالعه شده است . همچنین تأثیر بازپخت حرارتی بعد از مرحله اکسیداسیون در خواص الکتریکی و منحنی ولتاژ - جریان (I-V) مورد مطالعه قرار گرفته است . علاوه بر این ایجاد لایه بلوری و غنی از Asدر فصل مشترک اکسید – نیمه رسانا با استفاده از تکنیکRBS-Channeling بررسی شده است

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

برای لینک دهی به این مقاله می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:

https://civilica.com/doc/22387/

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
ارغوانی نیا، برهان و آقاعلی گل، داوود و باقرزاده، علی و فتحی، داریوش،1386،بررسی اثر کاشت ناخالصی آرسنیک بر روی نیمه هادی سیلیسیم بعد ازاکسیداسیون گرمایی،کنفرانس فیزیک ایران 1386،یاسوج،،،https://civilica.com/doc/22387

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1386، ارغوانی نیا، برهان؛ داوود آقاعلی گل و علی باقرزاده و داریوش فتحی)
برای بار دوم به بعد: (1386، ارغوانی نیا؛ آقاعلی گل و باقرزاده و فتحی)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مدیریت اطلاعات پژوهشی

صدور گواهی نمایه سازی | گزارش اشکال مقاله | من نویسنده این مقاله هستم

اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

علم سنجی و رتبه بندی مقاله

مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
نوع مرکز: دانشگاه آزاد
تعداد مقالات: 6,494
در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

مقالات مرتبط جدید

به اشتراک گذاری این صفحه

اطلاعات بیشتر درباره COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.

پشتیبانی