تعیین ضخامت لایه ی نازک SiO2 با استفاده از طیف بازتابی در بازه ی انرژِی5-1.5

  • سال انتشار: 1392
  • محل انتشار: سومین همایش ملی مهندسی اپتیک و لیرز ایران
  • کد COI اختصاصی: NCOLE03_095
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 880
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

طاهره سادات سیدی آرانی

گروه فیزیک دانشگاه الزهرا، ونک، تهران

فاطمه شهشهانی

گروه فیزیک دانشگاه الزهرا، ونک، تهران

رضا ثابت داریانی

گروه فیزیک دانشگاه الزهرا، ونک، تهران

بتول سجاد

گروه فیزیک دانشگاه الزهرا، ونک، تهران

چکیده

با استفاده از طیف بازتاب نور در ناحیه ی انرژیeV 5-1.5،ضخامت لایه ی نازک SiO2 که به روش اکسیداسیون گرمایی روی زیرلایه های سیلیکان نوع P با جهت (100) صیقلی و غیر صیقلی نشانده شده، برآورد و در این مقاله گزارش شده است. روش اندازه گیری بر اساس مقایسه طیف بازتاب تجربی لایه مورد نظر و طیف بازتاب نظری همان لایه ناشی ازتداخل چندپرتویی در انرژی های مختلف انجام شده است. مقایسه طیف تجربی و نظری نشان می دهد که توافق بسیارخوبی بین نتایج نظری و تجربی در انرژی هایی که طیف بازتاب بیشینه و یا کمینه است وجود دارد. همچنین طیف FTIR تهیه شده از نمونه های لایه نازک، تشکیل لایه SiO2 به روش اکسیداسیون گرمایی را تأیید می کند.

کلیدواژه ها

اکسیداسیون گرمایی،تداخل چند پرتوی،لایه نازک،SiO2

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.