تعیین ضخامت لایه ی نازک SiO2 با استفاده از طیف بازتابی در بازه ی انرژِی5-1.5
- سال انتشار: 1392
- محل انتشار: سومین همایش ملی مهندسی اپتیک و لیرز ایران
- کد COI اختصاصی: NCOLE03_095
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 880
نویسندگان
گروه فیزیک دانشگاه الزهرا، ونک، تهران
گروه فیزیک دانشگاه الزهرا، ونک، تهران
گروه فیزیک دانشگاه الزهرا، ونک، تهران
گروه فیزیک دانشگاه الزهرا، ونک، تهران
چکیده
با استفاده از طیف بازتاب نور در ناحیه ی انرژیeV 5-1.5،ضخامت لایه ی نازک SiO2 که به روش اکسیداسیون گرمایی روی زیرلایه های سیلیکان نوع P با جهت (100) صیقلی و غیر صیقلی نشانده شده، برآورد و در این مقاله گزارش شده است. روش اندازه گیری بر اساس مقایسه طیف بازتاب تجربی لایه مورد نظر و طیف بازتاب نظری همان لایه ناشی ازتداخل چندپرتویی در انرژی های مختلف انجام شده است. مقایسه طیف تجربی و نظری نشان می دهد که توافق بسیارخوبی بین نتایج نظری و تجربی در انرژی هایی که طیف بازتاب بیشینه و یا کمینه است وجود دارد. همچنین طیف FTIR تهیه شده از نمونه های لایه نازک، تشکیل لایه SiO2 به روش اکسیداسیون گرمایی را تأیید می کند.کلیدواژه ها
اکسیداسیون گرمایی،تداخل چند پرتوی،لایه نازک،SiO2مقالات مرتبط جدید
- بررسی خطای کنتورهای دیجیتال در اندازه گیری انرژی الکتریکی تحت شرایط اغتشاشات هارمونیکی
- عمرسنجی غیرمخرب روغن ترانسفورماتور از طریق امواج مایکروویو
- ارزیابی قابلیت اطمینان سیستم های قدرت در حضور مزارع بادی و برنامه های پاسخگویی بار
- کنترل بهینه فیلتر اکتیو در شبکه های توزیع بر مبنای آشکارسازی جریان راکتیو
- دسته بندی و تحلیل عوامل خطا بر اساس تکنیک خوشه بندی در شبکه توزیع برق
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.