نانو لیتوگرافی حرارتی

در این مقاله، روش لیتوگرافی در ابعاد نانو به وسیله ی ذوب یک لایه ی نازک پلیمری انجام شده است. به گونه ای که با قرار دادن نانو میله های طلا روی یک لایه ی نازک پلیمری و تاباندن نور لیزر به آن ، حرارت لازم برای ذوب لایه ی نازک پلیمری و انجام عملیات لیتوگرافی توسط نانو میله های طلا فراهم شده است.

کلیدواژه ها:

نانو لیتوگرافی ، نانو میله های طلا ، پلاسمون سطحی