مدلسازی جابجایی مکانیکی صفحه متحرک خازن متغیر MEMS با ساختار اهرمی بر اثر نیروی الکتروستاتیکی

سال انتشار: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 601

فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ICEEE05_089

تاریخ نمایه سازی: 3 آذر 1392

چکیده مقاله:

این مقاله یک مدلسازی مکانیکی برای بیان رفتاریک خازن متغیر با ساختاراهرمی براثراعمال نیروی الکتروستاتیکی برناحیه میانی آن بیان شده است این ساختارصفحه خازنی توسط چهارتیرک ازیک طرف ثابت شده است و ابعاد تیرکهای نگهدرنده این خازن طورری طراحی شده اند تا صفحه خازنی بطور موازی به سمت پایین حرکت کند ازاین رو رابطه ای جهت محاسبه جابجایی حاصل ازاعمال نیرو به هریک ازاین تیرک ها بدست آمده است دراین مقاله همچنین رابطه میان میزان جابجایی نقطه انتهایی تیرک و طول آن و نیز فاصله محل اعمال نیرو به تیرک تا تکیه گاه نیز مورد بررسی قرارگرفته است علاوه براین نتیج روابط تئوری با نتایج شبیه سازی مقایسه شده است که درستی این روابط را تصدیق می کند.

نویسندگان

هدیه محمودنیا

دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل

بهرام عزیزالله گنجی

دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • C. H. Han, D. H. Choi and J. B. Yoon, ...
  • Y. Gong, L. Zhang, F. Zhao, C. Meng and L. ...
  • Y. Shim, Z. Wu, and M. Rais-Zadeh, "A HIGH- TEMP ...
  • CONTINOU SLY TUNED MEMS CAPAC ITOR, " MEMS 2011, Cancun, ...
  • J. Reinke, L. Wang, G.K. Fedder, and T. Mukherjee, _ ...
  • J.G. S an karanarayanan _ K. Mayaram, "Noise simulation and ...
  • M. Innocent, P. Wambacq, S. Donnay, W. Sansen, H. De ...
  • T. Zvolensky, D. Chicherin, A. Raisanen, C. Simovski, M. Sterner, ...
  • M. M. Shalaby, Z. Wang, L. linda, W. Chow, B. ...
  • F. P.Beer, E. R. Johnston, J. T. Do If, "Mechanic ...
  • نمایش کامل مراجع