فناوری MEMS :تاریخچه، کاربردها، فرآیند ساخت و چالش ها

در این مقاله، به بررسی تکنولوژی MEMS (سیستم های میکروالکترومکانیکی) پرداخته می شود. این مقاله شامل معرفی فناوری MEMS و تاریخچه، کاربردهای آن در صنایع مختلف، فرآیندهای میکروفابریکیشن مورد استفاده در تولید این سیستم ها، چالش های طراحی و تولید در مقیاس صنعتی و همچنین مقایسه MEMS با نسل آینده آن، NEMS (سیستم های نانوالکترومکانیکی) و در آخر به مثال هایی از آینده mems پرداخته شده است.

کلیدواژه ها:

mems ، میکروفابریکیشن ، nems ، صنایع