طراحی و ساخت سنسور دمای نیکلی میکرو الکترو مکانیکی
- سال انتشار: 1392
- محل انتشار: پنجمین کنفرانس ملی مهندسی برق و الکترونیک ایران
- کد COI اختصاصی: ICEEE05_062
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1661
نویسندگان
دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران
چکیده
ازتکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی که به اختصارMEMS نامیده میشود برای ساخت یکسنسوردما استفاده کرده ایم لایه نازکی ازجنس نیکل به عنوان المان حساس به دما برروی یک زیرلایه سیلیکونی باروش تبخیر حرارتی نشانده شده است ضریب خطی بودن منحنی دما مقاومت لایه نازک نیکل دربازه دمایی 25تا100درجه سانتیگراد به 0.9996 رسید ضریب انبساط دمایی آن نیز -3Ω/Ω/˚C10×3 می باشد لایه عایق بین المان نیکلی و زیرلایه سیلیکونی به روش اکسیداسیون خشک ساخته شد سایز بسیار کوچک این سنسور دمای مقاومتی سرعت پاسخ دهی را به شدت بالا می برد به علاوه خواص خوب نیکل آن را تبدیل به یک سنسوربادقت بالا تکرار پذیر و پایداردربازه دمایی 25تا230درجه کرده است درادامه کاریک مجموعه ازمایشگاهی برای کالیبراسیون سنسور و یکمداربازخوانی برای خواندن سیگنال خروجی سنسور طراحی و ساخته شدکلیدواژه ها
آشکارسازدمای مقاومتی، MEMS، ضریب انبساط دمایی، فتولیتوگرافی، سونش، لایه نشانیمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.