کنترل موقعیت یک عملگر الکترواستاتیک سیستم میکروالکترومکانیکی درحضور عدم قطعیت ها

سیستم های میکروالکترومکانیک ۱، فناوری سیستم های بسیار کوچک در ابعاد میکرومتر می باشد. . سیستم های میکروالکترومکانیکی موضوع تحقیقات زیادی در ۵۰ سال گذشته بودهاند و موجب توسعه دستگاههای مختلفی در بسیاری از زمینه ها مانند زیست پزشکی ، خودروسازی و رباتیک شده اند. مدتهاست تشخیص داده شده است که یک انشعاب گره زینی ۲ به نام محدوده کششی ۳ باعث ناپایداری و محدودیت های عملیاتی در عملگر الکترواستاتیک می شود. . عملگر الکترواستاتیکی در واقع کلیدی است که به سیستم های میکروالکترومکانیک اجازه حرکت فیزیکی می دهد. یک نوع معروف عملگر در این سیستم ها، عملگر صفحه موازی می باشد. در این تحقیق قصد داریم با استفاده از کنترل مود لغزشی به بهبود عملکرد سیستم کمک کرده و قابلیت اطمینان مدل را بهبود ببخشیم . . چند پارامتر نامعلوم در این سیستم وجود دارد که در این خصوص از تخمین عدم قطعیت ها استفاده شده، شبیه سازی با دوسری اعداد مقایسه می شود که مقادیر هردوسری به مقادیر مظلوب همگرا شدند. نمودارهای شبیه سازی نشان می دهد که کنترلر پیشنهادی به خوبی کار می کند.

کلیدواژه ها:

سیستم های میکروالکترومکانیک ، کنترل مود لغزشی ، عدم قطعیت