طراحی و شبیه سازی یک شتاب سنج خازنی سه محوره با تکنولوژی MEMS

در این مقاله یک شتاب سنج خازنی سه محوره را با استفاده از تکنولوژی میکروماشین کاری سطحی طراحی و شبیه سازی کردهایم . این شتاب سنج تنها با استفاده از یک جرم متحرک قابلیت اندازه گیری شتاب در سه محور را دارد. از ویژگی های شتاب سنج پیشنهادی می توان به عدم استفاده از مدار پردازشگر پیچیده اشاره نمود که در این حالت شتاب اعمالی در تمام جهات به راحتی قابل تفکیک است . این شتاب سنج از پنج گروه خازنی برای اندازهگیری شتاب در جهات X,Y,Z استفاده می کند . محدوده اندازه گیری شتاب در هر سه جهت برابر g ۵۰ است که با توجه به نتایج شبیه سازی میزان حساسیت (غیر خطی ) در جهاتX وY برابر fF/g ۱۲ (%۸/۲) و در جهت Z برابر fF/g ۲۰ (۱۷%) است . شتاب سنج پیشنهادی را به گونه ای طراحی کرده ایم که ساخت آن با توجه به تجهیزات و محدودیت های مرکز میکروماشین ارومیه امکان پذیر باشد. مساحت اشغال شده توسط این شتاب سنج برابر mm۲/۱mm× ۲/۱است .