تحلیل غیرخطی تغییرشکل استاتیکی و فرکانس طبیعی میکروتیر یکسر درگیر دولایه تحت تحریک الکترواستاتیک با هدف طراحی بهینه میکروسنسور جرم و آلاینده

در این پژوهش تغییرشکل استاتیکی و فرکانس طبیعی میکروتیر یکسر درگیر دو لایه تحت تحریک الکترواستاتیک که لایه دوم بخشی از طول لایه اول را می پوشاند مطالعه می شود. این ترکیب بندی المان بسیاری از میکروسنسورهای جرم است . ابتدا معادله غیرخطی حاکم با فرض کوتاه شوندگی تارخنثی خمشی با استفاده از اصل هامیلتون استخراج می شود. معادلات دیفرانسیل حاکم بر تغییرشکل استاتیکی و فرکانس ارتعاش آزاد حول موقعیت استاتیکی سیستم به کمک روش گلرکین با استفاده از سه شکل مود میکروتیر یکسر درگیر به عنوان تابع مقایسه ای حل می شوند. باثابت نگه داشتن حجم لایه دوم، نحوه تغییرات فرکانس طبیعی و تغییرشکل استاتیکی برای موقعیت ها و ضخامت های مختلف لایه دوم بررسی می شود.