تحلیل رفتاراستاتیکی و فرکانس طبیعی میکروسنسور دومیکروتیره دوسرگیردارتحت میدان الکترواستاتیک یکنواخت

در این مقاله ، رفتاراستاتیکی و فرکانس طبیعی یک عملگر دومیکروتیره تحت میدان الکترواستاتیک یکنواخت مورد تحلیل قرارگرفته است . میدان یکنواخت از طریق اعمال ولتاژ الکتریکی بین الکترود و میکروتیر دوسر آزادی که به یک میکروتیر دوسرگیردار متصل شده است ، ایجاد می شود. اهمیت این مدل، ایجاد تغییرشکل یکنواخت تر می باشدکه باعث عملکرد مفیدتری در میکروسنسورها می شود. دراین مدل سازی ، میکروتیر دوسرآزاد به عنوان یک جسم صلب بین دو میکروتیر در نظرگرفته شده است . معادلات حرکت با استفاده از تئوری اولر برنولی استخراج شده و سپس با حل تحلیلی این معادلات مقادیر تغییرشکل استاتیکی ، فرکانس طبیعی و شکل مودهای سیستم به دست آورده می شوند . نتایج حاصل از شکل مودها و فرکانس های طبیعی با نتایج حاصل از مدل سازی سیستم در نرم افزار المان محدود انسیس ۱ مقایسه شده که مطابقت خوبی بین آن ها مشاهده می شود. همچنین تاثیر تغییرات طول میکروتیر دوسرآزاد و طول قسمتی از میکروتیر پایه که به میکروتیر دوسرآزاد متصل شده است ، بر روی تغییرشکل استاتیکی و فرکانس طبیعی اول بررسی شده است .