طراحی و ساخت میکروسنسور دما بر پایه تکنولوژی MEMS

در این مقاله میکروسنسور دمای مقاومتی بر روی بستر سیلیکون با استفاده از فلزات مختلف و بر پایه تکنولوژی میکروالکترومکانیکال سیستمMEMS) طراحی و ساخته شده است. آشکارساز دمای مقاومتیRTD)میکرومتری به دلیل حجم کوچک، دقت بالا، ساخت آسان و قیمت ارزان به طور گسترده به عنوان سنسور دما مورد استفاده قرار می گیرد. یکی از عوامل تاثیر گذار در حساسیت سنسورهایRTDجنس المان حساس به دمایRTDمی باشد. نیکل و پلاتین دلیل پایداری، خطی بودن و ضریب دمایی مقاوتی TCR)بالا به طور گسترده به عنوان المان حساس به دما در سنسورهای RTDاستفاده می شوند. در این مطالعه ما دو سنسور دمای مقاومتی با طراحی یکسان و متفاوت درالمان حساس به دما ساخته و کالیبره کردیم. در سنسور دمای اول از پلاتین و در سنسور دوماز نیکل به عنوان المان حساس به دما استفاده کردیم و تاثیر المان حساس به دمای نیکلی و پلاتینی را در حساسیت سنسور بررسی کردیم. همان طور که نتایج نشان می دهد سنسور دمای نیکلی فیلم نازک از نظر حساسیت0/9 Ω/0C و خطی بودن از سنسور دمای پلاتینی بهتر است

کلیدواژه ها:

المان حساس به دما ، سنسور دمای مقاومتی میکرومتری ، کالیبراسیون ، میکروالکترومکانیکال سیستم