طراحی مخازن متغیر MEMS با دوصفحه متحرک با استفاده ازتکنولوژی CMOS
محل انتشار: بیست و یکمین کنفرانس مهندسی برق ایران
سال انتشار: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 763
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEE21_354
تاریخ نمایه سازی: 27 مرداد 1392
چکیده مقاله:
دراین مقاله خازن های الکترومکانیکی که باتنظیم فاصله هوایی تغییر ظرفیت می دهند مورد بررسی قرارگرفته و عوامل موثردرکاهش بازه تنظیم و ضریب کیفیت یک خازن متغیر شناسایی و ارایه شده است و بهمنظور افزایش همزمان بازه تنظیم و ضریب کیفیت یک خازن سه صفحه ای که ازدو صفحه متحرک و یک صفحه ثابت تشکیل شده است و قابل ساخت درفرایند استاندارد CMOS است طراحی و شبیه سازی شده است همچنین ویژگیهای تکنولوژی CMOS با ذکرمزایای استفاده ازآن درساخت خازن های متغیر MEMS بیان گردیده و نحوه ساخت خازن سه صفحه ای با استفاده ازلایه های فلزی این تکنولوژی معین شده است شبیه سازی خازن به وسیله نرم افزار EM3DS صورت گرفته و نتایج حاصل بازه تنظیم 300درصد را نشان میدهد که نسبت به خازن صفحه موازی معمول 6برابر افزایش یافته است استفاده ازلاهی های فلزی موجود درفرایند 0.18μm CMOS درطراحی صفحات خازن موجب کاهش مقاومت سری و افزایش ضریب کیفیت به 300 درGHZ 1 شده است
کلیدواژه ها:
نویسندگان
مینا عاشوری
موسسه آموزش عالی سجادمشهد