شبیه سازی فشارسنج پیرانی مبتنی بر فناوری MEMSبا نرم افزارMATLAB

امروزه فشارسنج ها کاربردهای وسیعی در صنایع نظامی و تجاری پیدا کرده اند. از این رو از اهمیت خاصی برخوردارند. فشارسنج ها با ساختارهای متفاوت و در ابعاد مختلف وجود دارند. در این مقاله طریقه ی عملکرد فشارسنج پیرانی مبتنی بر فناوری MEMSو روابط و معادلات فشار و انتقال گرما مورد بررسی قرار گرفته است و در نهایت این معادلات با توجه به شرایط زیر, در سیمولینک نرم افزارMATLABشبیه سازیشده است؛ نگه داشتن دمای میکروپل در49.5 وجود گاز غالب نیتروژن در اطراف میکروپل؛ در نظر گرفتن هدایت گرمایی از طریق انتقال حرارت بین میکروپل و گاز اطراف آن و حذف اتلاف حرارتی ناشی از همرفت, تشعشعات گرمایی میکروپل, و هدایت گرمایی سه بعدی میکروپل شبیه سازی به صورتSystem Levelانجام شده است. یعنی در شبیه سازی بلوک هایی در نظر گرفته شده است که می توان مشخصات فیزیکی قطعه (میکروپل) را در آنجا تغییر داد. به همین دلیل شبیه سازی ساختارهای مختلف را می توان با این روند انجام داد. در این صورت می توان نتایج عملکرد قطعه را مشاهده نمود و مقدار حساسیت و دقت قطعه را تعیین کرد. و در نهایت با توجه به شرایط بالا و در نظر گرفتن ابعاد میکرو پل برابر با عرض1μm طول 1000μm و ضخامت 0.5μm به فشارسنج پیرانی با عملکردی با دقت 1Torr رسیدیم.