شبیه سازی تیرک AFM در تقابل سطح نمونه با استفاده از روش حل چند مقیاسی

مقاله حاضر به شبیه سازی رفتار ارتعاشی میکروکانتیلور پیزوالکتریک با استفاده از روشچند مقیاسی می پردازد و این مقاله با در نظر گرفتن تئوری تیموشنکو به مدلسازی و شبیهسازی رفتار ارتعاشی غیر خطی میکروکانتیلور پیزوالکتریک در مود دامنه با استفاده از روشحل چند مقیاسی که از دقت بالاتری نسبت به حل المان محدود برخوردار است می پردازدو نتایج حاصله با نتایج پیشین همانند روش المان محدود تیر تیموشنکو و روش چندمقیاسی تیر اویلر برنولی مورد مقایسه قرارگرفته است پاسخ زمانی میکروکانتیلور در فاصلهیدور از سطح بر اساس حل چند مقیاسی و روش حل المان محدود و نتایج تجربی مقایسهشده است و همچنین نتایج چند مقیاسی و المان محدود در پاسخ فرکانسی میکروکانتیلوردر حالت دور از سطح مقایسه شده است.

کلیدواژه ها:

حل چند مقیاسی AFM ، روش المان محدود ، پاسخ زمانی ، پاسخ فرکانسی