مروری بر روش نوین پلاسمای الکترولیتی کاتدی جهت ترسیب لایه های نازک نانوساختار
سال انتشار: 1402
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 145
فایل این مقاله در 19 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
SDNCONF12_011
تاریخ نمایه سازی: 14 مرداد 1403
چکیده مقاله:
طی چندین دهه ی اخیر در دنیای علم فیزیک، روش های الکتروشیمیایی، روش های الکترونی، یونی، باریکه ی لیزری و پلاسما به منظور رسوب گذاری و ته نشست لایه های نازک، توسعه یافته اند. لایه هایی که ضخامت آنها می تواند از یک دهم نانومتر تا چندین میکرومتر باشد، به این روش ها تهیه می شوند . اخیرا لایه های سطحی نازک روی مواد مختلف به ویژه فلزها، اعم از مواد طبیعی (اکسیدها و یا ترکیبات مشتق از مادهی زیرلایه) و مصنوعی یا انباشت شده، مورد توجه پژ وهش فناورانی است که به مسائل خوردگی و حفاظت ماده طی فناوری خلاء علاقه مند می باشند. لذا هدف اصلی در این مقاله، مرور کلی بر چگونگی عملکرد روش نوین پلاسمای الکترولیتی کاتدی و بررسی میزان نفوذ این شاخه به علم لایه های نازک است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
نازنین محسنی نیا
دانشکده فیزیک، دانشگاه سمنان، سمنان،، ایرا ن
نفیسه معماریان
دانشکده فیزیک، دانشگاه سمنان، سمنان، ، ایرا ن