بررسی تاثیر نوع یون بر خواص انتقال و ترابردی با کاشت یون در تانتالوم
محل انتشار: مجله پژوهش فیزیک ایران، دوره: 23، شماره: 2
سال انتشار: 1402
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 64
فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_PSI-23-2_009
تاریخ نمایه سازی: 18 آذر 1402
چکیده مقاله:
در این تحقیق بر روی سطوح تانتالوم توسط یون نیتروژن و آرگون با چگالی سطحی یونی تا (یون بر سانتی متر مربع) فرایند کاشت انجام شده است. فرایند کاشت یونی منجر به تغییر ریخت شناسی سطوح می شود و تمامی سطوح ناشی از این فرایند ناهموار هستند. این سطوح ناهموار به عنوان فصل مشترک در ساختارهای چندلایه ای مورد استفاده قرار گرفته و بر خواص ترابردی این ساختارها اثر میگذارند. برای مطالعه ریخت شناسی سطوح لایه های نازک کاشته شده یونی، از تحلیل میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) استفاده شده است. فرایند کاشت یونی منجر به تغییر ریخت شناسی سطوح می شود و تمامی سطوح ناشی از این فرایند ناهموار هستند. این سطوح ناهموار به عنوان فصل مشترک در لایه کاشته شده مورد استفاده قرار گرفته و بر خواص ترابردی این ساختارها اثر میگذارند. نتایج نشان می دهد که رابط هایی که با کاشت یون آرگون تولید شده اند نسبت به یون نیتروژن تغییرات بیشتری دارد. همچنین نسبت قله ها به دره در دو مورد کاهش می یابد.. علاوه بر این، با افزایش چگالی سطحی یونی نیتروژن، چگالی جریان به عنوان تابعی از ولتاژ کاهش یافته است.
نویسندگان
امیر هوشنگ رمضانی
گروه فیزیک، واحد تهران غرب، دانشگاه ازاد اسلامی، تهران
سمیه عسگری
گروه فیزیک، واحد تهران غرب، دانشگاه ازاد اسلامی، تهران
ژآله ابراهیمی نژاد
گروه فیزیک، واحد تهران غرب، دانشگاه ازاد اسلامی، تهران
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :